При производстве Si и FeSi основным источником Si является SiO2 в форме кварца. Реакции с SiO2 приводят к образованию газа SiO, который далее реагирует с SiC с образованием Si. При нагреве кварц преобразуется в другие модификации SiO2, стабильной высокотемпературной фазой которых является кристобалит. Превращение в кристобалит — медленный процесс. Его скорость была исследована для нескольких промышленных кварцевых источников и было показано, что она значительно различается среди различных типов кварца. Также были изучены другие различия в поведении этих кварцевых источников во время нагрева, такие как температура размягчения и объемное расширение. Соотношение кварц-кристобалит будет влиять на скорость реакций с участием SiO2. Обсуждаются промышленные последствия и другие последствия наблюдаемой разницы между типами кварца. В настоящей работе был разработан новый экспериментальный метод, а исследование нескольких новых кварцевых источников подтвердило наблюдавшиеся ранее большие различия между различными источниками. Была изучена повторяемость данных и исследовано влияние газовой атмосферы. Результаты предыдущей работы включены в качестве основы для обсуждения.
Плавленый кварц обладает превосходными термическими и химическими свойствами в качестве тигельного материала для выращивания монокристаллов из расплава, а его высокая чистота и низкая стоимость делают его особенно привлекательным для выращивания кристаллов высокой чистоты. Однако при выращивании некоторых типов кристаллов между расплавом и кварцевым тиглем необходим слой пиролитического углеродного покрытия. В этой статье мы описываем метод нанесения пиролитического углеродного покрытия методом вакуумного паропереноса. Показано, что метод эффективен для получения относительно однородного покрытия на тиглях широкого диапазона размеров и форм. Полученное пиролитическое углеродное покрытие характеризуется измерениями оптического затухания. Показано, что в каждом процессе нанесения покрытия толщина покрытия приближается к конечному значению с экспоненциальным хвостом по мере увеличения продолжительности пиролиза, а средняя толщина примерно линейно увеличивается с отношением объема доступных паров гексана к площади поверхности пиролитического покрытия. покрытие. Кварцевые тигли, покрытые этим процессом, использовались для успешного выращивания монокристаллов Nal диаметром до 2 дюймов, и было обнаружено, что качество поверхности кристаллов Nal улучшается по мере увеличения толщины покрытия.
Время публикации: 29 августа 2023 г.